自製產品 | 代理產品

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本公司產品目錄簡介

• 自製退火／擴散爐系統及低壓化學沉積系統
• 產品特點
  • 全部規格化，供學術界、半導體、光電專業界大量採用（客戶名單請洽電參考）
  • 尺寸齊全（6"至12"），可彈性搭配
  • Manual or AutoLoading設計 (On Request)
  • 電腦連線遙控設計
  • Modular設計，不佔空間，易於維修
  • 全部採用美國原廠進口零件
  • 符合潔淨室之要求（全不鏽鋼構造）
  • 提供就近維修，備零配件庫存
  • 提供最穩定±1°C之均溫區（均溫長度依需求定製）
  • 陶瓷纖維之爐體及加熱元件一體成型
  • 爐體外表溫度不燙手，不造成環境熱源危害
  • 提供爐體三區Tempature Monitoring，可隨時監控爐溫
  • 氣體及真空系統依實際應用設計、組裝
  • 提供搭配使用之石英組件
  • 電力供應模組、晶體繼電器或矽控整流器任選

	LPCVD Drawing
	LPCVD

	LPCVD Furnace #1
	LPCVD Furnace #2
	LPCVD Furnace #3
	Thermocouple
	Automatic Non-contact Sample Loader #1
	Automatic Non-contact Sample Loader #2
	Automatic Non-contact Sample Loader #3
	Automatic Non-contact Sample Loader #4